发明名称 Trägereinrichtung
摘要
申请公布号 DE10334940(B4) 申请公布日期 2007.08.23
申请号 DE20031034940 申请日期 2003.07.31
申请人 INFINEON TECHNOLOGIES AG 发明人 KOECKRITZ, TINA;MEFFERT, MATTHIAS;GEYER, STEFAN
分类号 H01L21/68;H01L21/673 主分类号 H01L21/68
代理机构 代理人
主权项
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