METHOD FOR PRODUCING A TEST STRUCTURE IN ORDER TO TEST FLEXIBILITY OF A MEMBRANE OF A MICROMECHANICAL COMPONENT AND CORRESPONDING EXAMINATION STRUCTURE

摘要

Die Erfindung schafft eine Prüfstruktur zur Prüfung der Durchbiegung einer Membran (3) eines mikromechanischen Bauelements (10) mit einer Mehrzahl von diskreten Testmustern (T1-T4), wobei die Testmuster (T1-T4) durch Entwickeln (S3) strukturell unterschiedlich aufgelöst sind, so dass die strukturelle Auflösung eines jeweiligen Testmusters (T1-T4) ein Maß für Durchbiegung der Membran (3) an der Position eines jeweiligen Testmusters (T1-T4) ist, sowie ein entsprechendes Herstellungsverfahren. Die Erfindung schafft ebenfalls eine Prüfstruktur zur Prüfung der Durchbiegung einer Membran (3) eines mikromechanischen Bauelements (10) mit einem kontinuierlichen Testmuster (T5), wobei das Testmuster (T5) durch Entwickeln (S3) strukturell sich kontinuierlich ändernd aufgelöst ist, so dass die strukturelle Auflösung des Testmusters (T5) an einer jeweiligen Position des Testmusters (T5) ein Maß für Durchbiegung der Membran (3) an der jeweiligen Position des Testmusters (T5) ist, sowie ein entsprechendes Herstellungsverfahren.