| 摘要 |
<p>Ein Kontaktbereich kann in einer Kontaktebene einer nicht-flüchtigen Speicherzelle mit äußerst geringer Fläche effi-zient und reproduzierbar erzeugt werden, wenn zunächst auf einer Basisschichtebene (252) eine Katalysatorinsel (254) aufgebracht wird und wenn darauffolgend ein Nanoröhrchen (110a, 110b; 256) an der Katalysatorinsel (254) aufgewach-sen wird, welches von der Basisschichtebene hervorsteht, so dass nach Aufbringen eines Schichtmaterials (260) auf die Basisschichtebene (252) das Nanoröhrchen (110a, 110b; 256) bis zur Kontaktebene reicht und dabei innerhalb der Kon-taktebene im Kontaktbereich endet, sodass bei weiterem Auf-bringen eines Speichermaterials (104) dieses im Kontaktbe-reich mit der Basisschichtebene kontaktierbar ist.</p> |
