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发明名称 VERFAHREN ZUR HESTELLUNG EINER ABBILDUNGSVORRICHTUNG
摘要
申请公布号 DE60215691(T2) 申请公布日期 2007.08.23
申请号 DE20026015691T 申请日期 2002.12.09
申请人 COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE;CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE (C.N.R.S.) 发明人 MONGELLAZ, FRANCOIS DI;LINCOT, DANIEL
分类号 H01L27/146;H01L31/18 主分类号 H01L27/146
代理机构 代理人
主权项
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