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发明名称 PLASMA GENERATOR HAVING FERRITE CORE WITH MULTI-FREQUENCY INDUCTION COIL AND PLASMA PROCESS APPARATUS HAVING THE SAME
摘要
申请公布号 KR100751535(B1) 申请公布日期 2007.08.23
申请号 KR20050121576 申请日期 2005.12.12
申请人 发明人
分类号 H05H1/26;H05H1/40 主分类号 H05H1/26
代理机构 代理人
主权项
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