滤波式光学读出微梁温度传感器

摘要

滤波式光学读出微梁温度传感器，其特征是设置双材料微梁单元于感温头内，点光源以其投射光束投射在微梁反光板上；在来自微梁反光板的反射光的汇聚谱平面上设置直线边界滤波单元，成像透镜位于直线边界滤波单元之后，设置在成像透镜的成像位置上的光电接受器为光电接收器。本发明采用直线边界滤波的光学方法，检测双材料为悬臂梁自由端的热致转角变形，从而精密测量环境温度的变化。

主权项

1、滤波式光学读出微梁温度传感器，其特征是：设置双材料微梁单元(4)于感温头(5)内，点光源(1)以其投射光束投射在微梁反光板上；在来自微梁反光板的反射光的汇聚谱平面上设置直线边界滤波单元(7)，成像透镜(8)位于直线边界滤波单元(7)之后，设置在成像透镜(8)的成像位置上的光电接受器(9)为光电接收器。