脉冲质量流量输送系统及方法

摘要

一种用于输送所需质量的气体的系统，包括：室；控制进入室的流的第一阀门；控制流出室的流的第二阀门；连接到室的压力传感器；输入装置，用于提供将所输送的所需气体质量；连接到阀门、压力传感器和输入装置的控制器。控制器被编程为：从输入装置接收所需气体质量，关闭第二阀门并打开第一阀门；从压力传感器接收室压的测量；当室内压力达到预定水平时关闭入口阀门。控制器被编程为等待预定的等待时间段以使室内部的气体达到平衡状态；然后在时间＝t0时打开出口阀门；并且当释放的气体质量等于所需质量时在时间＝t^*时关闭出口阀门。

主权项

1、一种用于输送所需质量的气体的系统，包括：室；控制进入该室中的气流的第一阀门；控制流出该室的气流的第二阀门；提供该室内压力测量的压力传感器；输入装置，用于提供将从该系统输送的所需气体质量；连接到所述阀门、所述压力传感器和所述输入装置的控制器，其被编程为：通过所述输入装置接收所需质量的气体，关闭所述第二阀门；打开所述第一阀门；从所述压力传感器接收室压的测量；当所述室内的压力达到预定水平时关闭所述入口阀门；等待预定的等待时间段以使所述室内部的气体达到平衡状态；在时间＝t0时打开所述出口阀门；并且当释放的气体质量等于所需质量时在时间＝t*时关闭所述出口阀门。