发明名称 |
一种测量PN结电流的测试装置 |
摘要 |
本实用新型公开了一种测量PN结电流的测试装置,P+端与电压源相连,N+端与电流测试仪器相连。有益效果是,由于检测电流端由现有技术的连接到P+变为连接到N+,使得从N+端测得的电流才是客户需要的准确的PN结电流,即i<SUB>1</SUB>,实质上解决了现有技术中二极管结漏电流大的缺陷。 |
申请公布号 |
CN2938404Y |
申请公布日期 |
2007.08.22 |
申请号 |
CN200620040258.5 |
申请日期 |
2006.03.16 |
申请人 |
中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
发明人 |
苏鼎杰;钱蔚宏;朱辉;赵芳芳 |
分类号 |
H01L23/544(2006.01);H01L21/66(2006.01) |
主分类号 |
H01L23/544(2006.01) |
代理机构 |
上海智信专利代理有限公司 |
代理人 |
王洁 |
主权项 |
1.一种测量PN结电流的测试装置,包括PN结,电压源和电流测试仪器,所述PN结为掺杂有不同浓度P掺杂和N掺杂的多种PN结,N+端和P+端之间存在电位差,其特征在于,P+端与电压源相连,N+端与电流测试仪器相连。 |
地址 |
201203上海市浦东新区张江路18号 |