发明名称 一种测量PN结电流的测试装置
摘要 本实用新型公开了一种测量PN结电流的测试装置,P+端与电压源相连,N+端与电流测试仪器相连。有益效果是,由于检测电流端由现有技术的连接到P+变为连接到N+,使得从N+端测得的电流才是客户需要的准确的PN结电流,即i<SUB>1</SUB>,实质上解决了现有技术中二极管结漏电流大的缺陷。
申请公布号 CN2938404Y 申请公布日期 2007.08.22
申请号 CN200620040258.5 申请日期 2006.03.16
申请人 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 发明人 苏鼎杰;钱蔚宏;朱辉;赵芳芳
分类号 H01L23/544(2006.01);H01L21/66(2006.01) 主分类号 H01L23/544(2006.01)
代理机构 上海智信专利代理有限公司 代理人 王洁
主权项 1.一种测量PN结电流的测试装置,包括PN结,电压源和电流测试仪器,所述PN结为掺杂有不同浓度P掺杂和N掺杂的多种PN结,N+端和P+端之间存在电位差,其特征在于,P+端与电压源相连,N+端与电流测试仪器相连。
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