发明名称 液体材料汽化及供给装置
摘要 一种液体汽化及供给装置,具有较高的传热效率,利用依靠加热器而保持设定温度的倾斜的汽化板,可以用少量的液体产生大量的蒸气流量,液体从与汽化板上端相邻的喷嘴中流出,在流到倾斜的汽化板表面时开始汽化。当在汽化板20上积聚的液体量达到预定量时,液面传感器40使得液体从喷嘴中停止流入。然后,随着汽化的继续,液面下降,传感器使得液体恢复流入。停止流入液体和恢复流入液体的循环不断重复以维持恒定的液面。
申请公布号 CN1333106C 申请公布日期 2007.08.22
申请号 CN02156811.1 申请日期 2002.12.13
申请人 日本AERA株式会社 发明人 土岐育男
分类号 C23C16/448(2006.01) 主分类号 C23C16/448(2006.01)
代理机构 北京康信知识产权代理有限责任公司 代理人 余刚
主权项 1.一种液体汽化及供给装置,包括:汽化容器;置于容器内的汽化板,所述汽化板相对水平面倾斜;加热所述汽化板的装置;将液体供给到所述汽化板上的装置,所述装置与所述汽化板上端相邻;用于响应所述汽化板上聚集的液面的液面探测装置;以及响应所述液面探测装置的装置,所述装置通过所述的供给装置控制所述汽化板上的液体的供给量。
地址 日本东京