| 发明名称 | 气体支撑的基底承载机构 | ||
| 摘要 | 一种在真空或者接近真空条件下使用的悬浮设备，包括具有多个气体注入点(1)和邻近的气体抽吸点(2)的悬浮板(3)，以产生空气支撑，因而支撑薄板状基底。另一个实施例包括被支撑基底的运输装置和/或使悬浮板倾斜的倾斜装置。 | ||
| 申请公布号 | CN101023011A | 申请公布日期 | 2007.08.22 |
| 申请号 | CN200580023248.9 | 申请日期 | 2005.07.07 |
| 申请人 | OC欧瑞康巴尔斯公司 | 发明人 | V·卡萨格尼 |
| 分类号 | B65G49/06(2006.01);B65G51/03(2006.01) | 主分类号 | B65G49/06(2006.01) |
| 代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人 | 原绍辉;黄力行 |
| 主权项 | 1.一种在真空或者接近真空条件下使用的悬浮设备，包括具有多个气体注入点(1)和邻近的气体抽吸点(2)的悬浮板(3)，以产生空气支撑(4)，因而支撑薄板状基底(5)。 | ||
| 地址 | 列支敦士登巴尔策斯 | ||