用于微结构蚀刻的改进方法和设备

摘要

一种提供用于蚀刻位于处理室内的一个或多个微结构的蚀刻气体源的设备和方法。该设备具有连接到气体源的气体源供应线和用于容纳蚀刻材料的一个或多个室。在应用中，在一个或多个室内将蚀刻材料转换为蚀刻材料蒸气，并且气体供应线向蚀刻材料蒸气提供载气的供应并还将由载气传送的蚀刻材料蒸气提供给处理室。有利的是，本发明的设备不需要为了获得连续的蚀刻气体流而包括任何膨胀室或其它复杂的机械部件。

主权项

1、一种用于提供蚀刻气体源的设备，该蚀刻气体源用于蚀刻一个或多个位于处理室内的微结构，该设备包括：可连接到气体源的气体源供应线；以及适合于容纳蚀刻材料的一个或多个室，其中在所述一个或多个室内将所述蚀刻材料转换成蚀刻材料蒸气，并且所述气体供应线提供用于将载气从所述气体源提供给所述蚀刻材料蒸气及此后用于将通过所述载气传输的所述蚀刻材料蒸气提供给处理室的装置。