| 发明名称 | 用于光致抗蚀的保护涂层组合物和用其形成光致抗蚀图案的方法 | ||
| 摘要 | 本发明公开用于光致抗蚀的保护涂层组合物及使用该组合物的方法。详言之，公开包含可稳定地将酸变弱的材料的用于光致抗蚀的保护涂层组合物。该等材料中和大量在光致抗蚀薄膜顶部所产生的酸，以使该酸的垂直分布一致化。结果可得到小于100nm厚度的垂直且精细的图案。 | ||
| 申请公布号 | CN1333307C | 申请公布日期 | 2007.08.22 |
| 申请号 | CN200410063569.9 | 申请日期 | 2004.07.12 |
| 申请人 | 海力士半导体有限公司 | 发明人 | 郑载昌 |
| 分类号 | G03F7/004(2006.01);G03F7/20(2006.01) | 主分类号 | G03F7/004(2006.01) |
| 代理机构 | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人 | 张平元;赵仁临 |
| 主权项 | 1.一种用于光致抗蚀的保护涂层组合物，该组合物由(i)冠醚化合物或式1所示的盐化合物、(ii)包含式2所示的重复单元的碱可溶性树脂和(iii)蒸馏水组成：[式1]X<sup>+-</sup>Y[式2]<img file="C2004100635690002C1.GIF" wi="565" he="433" />其中X是为一级、二级或三级胺；Y为羧酸根或卤素元素；R<sub>1</sub>和R<sub>2</sub>各自为氢或甲基；R<sub>3</sub>为直链或支链C<sub>1</sub>-C<sub>10</sub>烷基；且a∶b的相对比例等于2～20摩尔％∶80～90摩尔％，条件为a+b等于100摩尔％。 | ||
| 地址 | 韩国京畿道 | ||