发明名称 X射线图像检测器的制造方法和制造装置及X射线图像检测器
摘要 一种X射线图像检测器的制造方法,在构成X射线图像检测输入部的输入基板(21)上,形成将X射线变换成光的CsI膜等X射线发光荧光膜(22)。对X射线发光荧光膜(22)的表面部分照射具有波长500nm以下的高能光。利用照射高能光,使X射线发光荧光膜(22)的表面部分局部升华及/或熔融而平整。通过利用激光那样的高能光,从而能有效并均匀地使X射线发光荧光膜的表面部分变得平坦。
申请公布号 CN1333421C 申请公布日期 2007.08.22
申请号 CN02816856.9 申请日期 2002.08.29
申请人 株式会社东芝 发明人 山岸城文
分类号 H01J9/22(2006.01);H01J29/38(2006.01);H01J31/50(2006.01) 主分类号 H01J9/22(2006.01)
代理机构 上海专利商标事务所有限公司 代理人 沈昭坤
主权项 1.一种X射线图像检测器的制造方法,其特征在于,包括在构成X射线图像检测器的输入部的输入基板上形成将X射线变换成光的X射线发光荧光膜的工序;及对所述X射线发光荧光膜照射具有500nm以下波长的高能光、并使所述X射线发光荧光膜表面部分升华及/或熔融而平整的工序。
地址 日本东京