发明名称 |
X射线图像检测器的制造方法和制造装置及X射线图像检测器 |
摘要 |
一种X射线图像检测器的制造方法,在构成X射线图像检测输入部的输入基板(21)上,形成将X射线变换成光的CsI膜等X射线发光荧光膜(22)。对X射线发光荧光膜(22)的表面部分照射具有波长500nm以下的高能光。利用照射高能光,使X射线发光荧光膜(22)的表面部分局部升华及/或熔融而平整。通过利用激光那样的高能光,从而能有效并均匀地使X射线发光荧光膜的表面部分变得平坦。 |
申请公布号 |
CN1333421C |
申请公布日期 |
2007.08.22 |
申请号 |
CN02816856.9 |
申请日期 |
2002.08.29 |
申请人 |
株式会社东芝 |
发明人 |
山岸城文 |
分类号 |
H01J9/22(2006.01);H01J29/38(2006.01);H01J31/50(2006.01) |
主分类号 |
H01J9/22(2006.01) |
代理机构 |
上海专利商标事务所有限公司 |
代理人 |
沈昭坤 |
主权项 |
1.一种X射线图像检测器的制造方法,其特征在于,包括在构成X射线图像检测器的输入部的输入基板上形成将X射线变换成光的X射线发光荧光膜的工序;及对所述X射线发光荧光膜照射具有500nm以下波长的高能光、并使所述X射线发光荧光膜表面部分升华及/或熔融而平整的工序。 |
地址 |
日本东京 |