| 发明名称 | 平面基板自动检测系统及方法 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种平面基板自动检测系统及方法，系统包含有光学模块，光学模块包含有照明组件和透镜组，透镜组引导照明光束至基板的部分区域，透镜组包含一个菲涅尔透镜，光学模块包含一个相机，相机接收经照明光源和基板作用后产生的反射光，相机包含一个时间延迟积分(TDI)传感器，远心成像透镜引导来自基板的反射光至相机，照明组件包含一个连接至含多组LED光源的控制器，每个LED可发射不同波长的光线。控制器独立控制每个LED光源。本发明能够高速分析大型平面基板，具有高灵敏度，而且可提供高分辨率图像。 | ||
| 申请公布号 | CN101021490A | 申请公布日期 | 2007.08.22 |
| 申请号 | CN200710087656.1 | 申请日期 | 2007.03.12 |
| 申请人 | 3i系统公司 | 发明人 | 严征;李波;陈维华;杨铁成;李宁;高剑波 |
| 分类号 | G01N21/956(2006.01);G01R31/309(2006.01) | 主分类号 | G01N21/956(2006.01) |
| 代理机构 | 广州新诺专利商标事务所有限公司 | 代理人 | 华辉 |
| 主权项 | 1.一种平面基板自动检测系统，其特征在于包括：一个照明组件；一个用于引导照明组件的光束至基板的特定区域的透镜组，该透镜组至少包含一个菲涅尔透镜；和一个接收照明光与基板表面作用后的反射光的相机，该相机包含一个时间延迟积分(TDI)传感器。 | ||
| 地址 | 美国加利福尼亚州 | ||