发明名称 |
SPUTTER TARGET MADE OF A SILVER ALLOY, USE THEREOF, AND GLASS SUBSTRATE COMPRISING A HEAT INSULATING LAYER |
摘要 |
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申请公布号 |
EP1819837(A2) |
申请公布日期 |
2007.08.22 |
申请号 |
EP20050825893 |
申请日期 |
2005.12.07 |
申请人 |
W.C. HERAEUS GMBH |
发明人 |
SIMONS, CHRISTOPH;WEIGERT, MARTIN |
分类号 |
C23C14/18;C22C5/06;C23C14/34 |
主分类号 |
C23C14/18 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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