发明名称 Device and method for determining the orientation of a crystallographic plane in relation to a crystal surface
摘要
申请公布号 EP1568457(B1) 申请公布日期 2007.08.22
申请号 EP20050010482 申请日期 2002.06.11
申请人 FREIBERGER COMPOUND MATERIALS GMBH 发明人 HAMMER, RALF;GRUSZYNSKY, RALF;KLEINWECHTER, ANDRE, DR.;FLADE, TILO, DR.
分类号 B28D5/00;B28D5/04;G01N23/20;H01L21/304 主分类号 B28D5/00
代理机构 代理人
主权项
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