| 发明名称 | 一种对真空设备尾气处理的装置 | ||
| 摘要 | 本实用新型公开了一种对真空设备尾气处理的装置，它包括：在泵抽系统的排气口管路上接一三通阀，三通阀的一路直接通向大气的排气口；另一路接尾气处理槽的进气口，尾气处理槽的出气口再接通向大气的排气口；两路之间靠三通阀转换；所述的有害气体尾气处理槽内置有气体处理液，上设有气体处理液加液口，下设排液口。所述的尾气处理槽还设有观液窗。 | ||
| 申请公布号 | CN2936401Y | 申请公布日期 | 2007.08.22 |
| 申请号 | CN200620119117.2 | 申请日期 | 2006.08.15 |
| 申请人 | 北京有色金属研究总院 | 发明人 | 周其;杨坚;刘慧舟;张华 |
| 分类号 | B01D47/02(2006.01) | 主分类号 | B01D47/02(2006.01) |
| 代理机构 | 北京北新智诚知识产权代理有限公司 | 代理人 | 朱丽华 |
| 主权项 | 1、一种对真空设备尾气处理的装置，其特征在于：它包括在泵抽系统的排气口管路上接一三通阀，三通阀的一路直接通向大气的排气口；另一路接尾气处理槽的进气口，尾气处理槽的出气口再接通向大气的排气口；两路之间靠三通阀转换；所述的有害气体尾气处理槽内置有气体处理液，上设有气体处理液加液口，下设排液口。 | ||
| 地址 | 100088北京市新街口外大街2号 | ||