射流角速度传感器及其制备方法

摘要

本发明提供了一种射流角速度传感器及其制备工艺，属于微电子机械系统设计及加工领域。该传感器包括两个振动腔、四个整流腔和一个检测腔，振动腔内气体被驱动可循环，在每个振动腔两侧分别设有两个整流腔，被驱动的气体经整流腔流入检测腔，循环气体在检测腔内始终沿一个方向流动，所述检测腔内对称地放置两根热敏电阻丝，并将这两根热敏电阻丝接入一个惠斯登电桥，所述整流腔为狼牙棒流体二极管，该流体二极管是由若干规律排列的狼牙棒形挡板组成。本发明射流角速度传感器的尺度可缩小到几个毫米，真正实现了射流角速度传感器的微型化，大大扩展了射流角速度传感器的应用范围。

主权项

1、一种射流角速度传感器，包括：振动腔和检测腔，振动腔内气体被驱动可循环，循环气体流到检测腔内始终沿一个方向流动，所述检测腔内对称地放置两根热敏电阻丝，并将这两根热敏电阻丝接入一个惠斯登电桥，其特征在于：振动腔为两个，在每个振动腔两侧分别设有两个整流腔，检测腔位于两个振动腔之间，被驱动的气体经整流腔流入检测腔，每个整流腔为一个狼牙棒流体二极管，所述流体二极管是由若干有规律排列的狼牙棒形挡板组成。