处理装置及处理装置之维护方法

摘要

本发明提供一种处理装置之电极用调温装置，该处理装置之电极用调温装置可缩小设置面积并且可节省能源，且冷冻回路之冷媒不使用PFC，可防止地球温暖化。该处理装置之电极用调温装置具有由压缩机，冷凝器，膨胀阀与蒸发器构成的冷冻回路，且在下部电极内配置蒸发器。无须具有储藏冷媒之冷媒箱、用以送出冷媒至处理装置之泵、用以调温冷媒之加热器或用以在一次冷媒与二次冷媒之间进行热交换之热交换器等之构成组件。因此，成本降低，且由于装置小型化而可缩小设置面积，并可更进一步节省能源。又，由于系以CO2作为冷媒，故可使地球温暖化系数(GWP)为氟隆之1/8000~1/7000。

主权项

1.一种处理装置,包含有: 电极,系在处理室内可载置被处理体;及 冷冻回路,系由压缩机、冷凝器、膨胀阀与蒸发器 所构成,且以CO2作为冷媒以冷却前述电极, 又,前述蒸发器系由配设于前述电极内之螺旋状传 热性壁体所构成之冷媒流路, 且由前述冷冻回路之膨胀阀到蒸发器之路径,配置 有三通阀,该三通阀系可选择性地连通膨胀阀侧路 径、冷冻回收路径、蒸发器侧路径之中任意两个 路径, 而,在由前述冷冻回路之蒸发器到压缩机之路径配 置有开闭阀。 2.如申请专利范围第1项之处理装置,其中: 前述冷媒流路朝下游流路逐渐变窄。 3.一种处理装置之维护方法, 前述处理装置,包含有: 电极,系在处理室内可载置被处理体;及 冷冻回路,系由压缩机、冷凝器、膨胀阀与蒸发器 所构成,且以CO2作为冷媒以冷却前述电极, 又,前述蒸发器系由配设于前述电极内之螺旋状传 热性壁体所构成之冷媒流路, 且由前述冷冻回路之膨胀阀到蒸发器之路径,配置 有三通阀,该三通阀系可选择性地连通膨胀阀侧路 径、冷冻回收路径、蒸发器侧路径之中任意两个 路径, 而,在由前述冷冻回路之蒸发器到压缩机之路径配 置有开闭阀, 又,该处理装置之维护方法系在拆卸前述电极时, 开放前述三通阀构成连通前述膨胀阀侧路径与前 述冷媒回收路径, 驱动前述压缩机,并在前述冷媒回收路径回收前述 冷媒, 在冷媒回收后关闭前述开闭阀并且关闭前述三通 阀,并停止前述压缩机, 拆卸前述电极。 4.如申请专利范围第3项处理装置之维护方法,其中 : 在前述冷冻回路再开始运转时, 连接拆卸之前述电极之后, 开放前述三通阀,以连通前述冷媒回收路径与前述 蒸发器侧器路径, 透过前述冷媒回收路径,由前述三通阀排气通过通 至前述开闭阀之路径内, 接着,开放前述三通阀,以连通前述膨胀阀侧路径 与前述蒸发器侧路径, 开放前述开闭阀, 驱动前述压缩机。 图式简单说明: 第1图表示蚀刻装置及冷冻回路概略的截面图。 第2图表示下部电极概略的截面图。 第3图系第2图之A-A截面图。 第4图表示下部电极拆卸作业流程图。 第5图表示冷冻回路驱动时之流程图。