| 主权项 |
1.一种药液供给装置,其特征在:由设置在用以供给 药液之药液供给路之途中的主帮浦及副帮浦所构 成;该主帮浦及副帮浦在起动状态时之供给流量为 主帮浦≦副帮浦之关系,而在通常供给状态时之供 给流量为主帮浦>副帮浦之关系。 2.如申请专利范围第1项之药液供给装置,其中,前 述主帮浦及前述副帮浦,在起动状态时之内容积的 膨胀量有主帮浦>副帮浦之关系。 3.如申请专利范围第1项或第2项之药液供给装置, 其中,在起动状态时之前述副帮浦的供给流量A,及 在起动状态时之前述主帮浦之内容积的膨胀量与 起动状态时之前述药液供给路之内容积的增加量 之和B的关系为A≧B。 4.如申请专利范围第1项或第2项之药液供给装置, 其中,具备有控制前述主帮浦及前述副帮浦之控制 装置。 5.如申请专利范围第1项或第2项之药液供给装置, 其中,在前述主帮浦之一次侧或前述二次侧串联设 置前述副帮浦。 6.如申请专利范围第1项或第2项之药液供给装置, 其中,前述主帮浦及前述副帮浦系并联设置。 7.如申请专利范围第1项或第2项之药液供给装置, 其中,前述主帮浦及前述副帮浦系设成一体。 图式简单说明: 第1图系本发明一实施例之药液供给装置(例1)的说 明图。 第2图系隔壁式回吸阀之说明图。 第3图系本发明一实施例之药液供给装置(例1)之动 作状态的时序图。 第4图系Tube-phram帮浦之送出时的伸缩管之状态的 说明图。 第5图系从喷嘴装置送出之药液之送出流量与时间 之关系的曲线图。 第6图系本发明其他实施例之药液供给装置(例2)的 说明图。 第7图系本发明其他实施例之药液供给装置(例3)的 说明图。 第8图系习知药液供给装置之一例之说明图。 第9图系Tube-phram帮浦之说明图。 第10图系从喷嘴装置送出之药液之送出流量与时 间之关系的曲线图。 |
