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发明名称 METHOD FOR DESIGNING AND FABRICATING A LAYERED STRUCTURE, A STRESS ANALYSIS SYSTEM AND A METHOD FOR COMPUTING LOCAL STRESSES
摘要
申请公布号 KR100750575(B1) 申请公布日期 2007.08.21
申请号 KR20057013684 申请日期 2005.07.25
申请人 发明人
分类号 H01L21/66;B81C99/00;G01B9/02;G06F7/60;G06F17/10;G06G7/48;G06G7/50;H01L;H01L21/768 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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