发明名称 INTELLIGENT GATE-LEVEL FILL METHODS FOR REDUCING GLOBAL PATTERN DENSITY EFFECTS
摘要
申请公布号 KR100750409(B1) 申请公布日期 2007.08.21
申请号 KR20017010079 申请日期 2001.08.09
申请人 发明人
分类号 H01L29/786 主分类号 H01L29/786
代理机构 代理人
主权项
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