| 摘要 |
所揭露者为第一导电膜的第一厚度之决定方法，此第一导电膜由目标基底上的第一导电材料所形成。此方法包括将第一涡电流感测器置于接近目标基底上的一组位置。此方法还包括使用第一涡电流感测器量测第一组电响应，第一组电响应包括第一电压量测及第一电流量测之至少之一。此方法更包括使用温度相依补偿因子修正第一组电响应，藉此得到修正的第一组电响应，温度相依补偿因子系从与目标基底不同的校正基底得到，校正基底具有由实质上与目标基底的第一导电材料类似之第二导电材料所形成之第二导电膜；以及使用修正的第一组电响应决定第一厚度。 |
