粒子侦测感测器、制造粒子侦测感测器的方法、以及使用粒子侦测感测器侦测粒子的方法

摘要

由于知花粉感测器系以光学方式执行侦测，故会存在量测需要长时间的问题。另外，亦存在必须使用光源或侦测器，且装置会变得更大的问题。对此，本发明之目的为提供一种小型感测器，藉由该小型感测器可轻易地侦测到飘浮在空气中的粒子。使用具有微结构的感测器，该微结构系藉由接触来侦测一侦测物体。微结构具有将作为对应于侦测物体大小之侦测孔的开口，且其上方或下方系设有具有桥接结构的一对电极，以便彼此部份接触。