光学积分器、照明光学装置、曝光装置以及元件的制造方法

摘要

本发明提供一种光学积分器，可于照明光学装置的变形照明时，将光量损失抑制在较小程度。本发明的波前分割型光学积分器(4)包括：多个折射面区域(4a，4b)，用以对入射光赋予折射作用；以及多个偏转面区域(4c、4d)，与多个折射面区域对应地设置，用以改变入射光的行进方向。多个折射面区域包括：多个第1折射面区域(4a)，其等的向第1方向(-X方向)突出而形成弓状的外形形状；以及多个第2折射面区域(4b)，其等的向第2方向(+X方向)突出而形成弓状的外形形状。