晶边清洗之方法

摘要

本发明系提供一种晶边清洗之方法。首先，提供一晶圆，该晶圆之表面包含有一涂布材料层。接着利用光学投影方式将一光线投影于该晶圆上以形成一参考图案，且该参考图案于该晶圆之表面定义出一区，以及一环绕该区之晶边区。随后根据该参考图案，去除位于该晶边区内之该涂布材料层。