分批形成装置、基板处理系统、分批形成方法及分批形成程式

摘要

分批形成装置是藉由组合自各将多数片基板收容成叠层状态之多数载体取出的多数片基板，形成基板之分批。分批形成装置是具备：基板搬运机构，将被收容在各载体之多数片基板自各个载体取出而予以搬运；基板相互位置关系变更机构，针对藉由上述基板搬运机构而被搬运之多数片基板，藉由使基板一片一片相对于其他基板予以移动，变更该些多数片基板中之相互的位置关系；和分批形成机构，自藉由上述基板相互位置变更机构变更相互之位置关系，又藉由上述基板搬运机构被搬运之多数片基板形成分批。基板处理系统是具备有：如此之分批形成装置，和对藉由该分批形成装置而形成之基板之分批执行处理之基板处理装置。