具有聚合物涂层之反应室构件及其制造方法

摘要

一种制程室构件包括：一第一表面，其于使用中系暴露于腔室中的激发态气体，而第一表面包括聚对二甲苯(parylene)涂层；以及一第二表面，其于使用中并未暴露于激发态气体。制程室的内表面可以于原位(in situ)而涂覆有一聚合物涂层。一移动式配件(portable fixture)可用以于制程室中形成聚合物涂层。已具有涂层之腔室构件的重新磨光(refurbish)可利用臭氧及/或氧气而将聚合物剥除，并重新涂覆一聚合物。