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发明名称
用于修饰物件之设备及方法
摘要
本发明揭示一种方法与设备,其包括将一反应物定位在一表面上之特定位置中,并且接着自一元件导引一能量来源至该反应物,使得其能修正该表面而移除材料或增添材料。
申请公布号
TW200731327
申请公布日期
2007.08.16
申请号
TW095104272
申请日期
2006.02.08
申请人
瑞弗股份有限公司
发明人
霍普金斯贝利F HOPKINS, BARRY F.;瑞大卫J RAY, DAVID J.;雷克莱儿杰佛瑞E LECLAIRE, JEFFREY E.;怀特罗伊
分类号
H01L21/02(2006.01)
主分类号
H01L21/02(2006.01)
代理机构
代理人
蔡坤财;李世章
主权项
地址
美国
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