发明名称 用于修饰物件之设备及方法
摘要 本发明揭示一种方法与设备,其包括将一反应物定位在一表面上之特定位置中,并且接着自一元件导引一能量来源至该反应物,使得其能修正该表面而移除材料或增添材料。
申请公布号 TW200731327 申请公布日期 2007.08.16
申请号 TW095104272 申请日期 2006.02.08
申请人 瑞弗股份有限公司 发明人 霍普金斯贝利F HOPKINS, BARRY F.;瑞大卫J RAY, DAVID J.;雷克莱儿杰佛瑞E LECLAIRE, JEFFREY E.;怀特罗伊
分类号 H01L21/02(2006.01) 主分类号 H01L21/02(2006.01)
代理机构 代理人 蔡坤财;李世章
主权项
地址 美国