尺寸的量测方法与设有此方法的光学量测系统

摘要

一种尺寸的量测方法，适用于一光学量测系统，以量测物体的一关键尺寸，包括：利用该光学量测系统，量测多个样本物体以得到多个影像。每一该些样本物体有一栅状图案，该些栅状图案有至少一节距，且在相同的该节距下有多个线宽。利用一演算法分析该些影像，以得到对应在该节距的该些线宽的多个特征分布。从该些特征分布，决定每一该些特征分布的一特征值，其中该特征值会随该些线宽有一变化曲线。量测一待测物体，得到对应的一量测特征值。根据该变化曲线，得到对应该量测特征值的一关键线宽。