多阶鲁式真空帮浦

摘要

本发明提供一种包括复数个定子片之多阶鲁氏真空帮浦。每一定子片皆包括一用于接纳互啮合鲁氏转子组件之抽送室。该帮浦进一步包括一用于在该等抽送室之间传送流体之通道布置。该通道布置包括：复数个第一通道，其各自形成于一相应定子片之表面内并围绕彼定子片之抽送室延伸；及复数个第二通道，其各自延伸穿过一相应定子片，以在该等第一通道之间传输流体。