| 摘要 |
本发明可提供含析像性能、热安定性及保存安定性极优之敏辐射线性酸产生剂，可抑制因驻波所引起之图型线宽之变动及图型形状之劣化，可得微小表面凹凸(nanoedge roughness)及LEF极优之光阻图型的敏辐射线性树脂组成物者。敏辐射线性树脂组成物系以含有(A)2,4,6-三甲基苯基二苯2,4-二氟化苯磺酸酯、2,4,6-三甲苯基二苯4-三氟化甲苯磺酸酯等所代表之盐化合物及磺醯亚胺化合物之敏辐射线性酸产生剂为特征者。该组成物中还以包含(B)4-羟基苯乙烯/4-第三丁氧基苯乙烯共聚物、4-羟基苯乙烯/(甲基)丙烯酸第三丁酯等所代表之树脂为宜。 |
