相移式光罩及微影方法

摘要

一种相移式光罩，包括透光基板、相移层及环状不透光图案。相移层配置于透光基板上，相移层中具有至少一个透光图案而暴露出部分透光基板。环状不透光图案沿着至少一个透光图案的边缘配置于相移层上。