摘要 |
本发明提供用于划刻基材之装置及方法,其系使用同步多轴的方式于基材上同时形成X轴线以及Y轴线。利用同步多轴划刻基材之装置包含:基材传送装置,于单一方向移动并装载基材;第一导引装置,配置于垂直于基材传送装置行进之方向;数个第一划刻装置,彼此位置间以一区间间隔,区间系由第一导引装置所决定;第二划刻装置,以形成划刻线于一垂直方向,垂直方向垂直于第一划刻装置形成之数个第一划刻线;第二导引装置,用于传送第二划刻装置于垂直于基材传送装置行进之方向;以及控制部件,用于控制基材传送装置之传送速度以及第二划刻装置之传输速度,使得第二划刻装置形成之第二划刻线垂直于第一划刻线。当使用同步多轴之划刻基材方法及装置时,因为X轴划刻线以及Y轴划刻线几乎同时地形成于基材上,故缩短制程时间且增进生产率。 |