发明名称 相位可改变记忆体单元阵列区域及其形成方法
摘要 本发明提供一种相位可改变记忆体单元阵列区域,其包括一下层间绝缘层,其安置于一半导体基板上。该区域亦包括复数个导电栓塞,其穿过该下层间绝缘层而安置。该区域亦包括一相位可改变材料图案,其可操作地安置于该下层间绝缘层上,该相位可改变图案覆盖该复数个导电栓塞中至少两者,其中该相位可改变材料图案包括与该复数个导电栓塞之一或多者接触的复数个第一区域及插入于该复数个第一区域之间的至少一第二区域,其中该至少一第二区域具有一比该复数个第一区域低之热导率。该相位可改变记忆体单元阵列区域亦包括一上层间绝缘层,其覆盖该相位可改变材料图案及该下层间绝缘层中之至少一者。该区域亦包括导电图案,其穿过该上层间绝缘层而安置且电连接至该复数个第一区域之复数个预定区域。
申请公布号 TW200731512 申请公布日期 2007.08.16
申请号 TW095141239 申请日期 2006.11.08
申请人 三星电子股份有限公司 发明人 安亨根;堀井秀树;姜相列
分类号 H01L27/115(2006.01);H01L21/8247(2006.01) 主分类号 H01L27/115(2006.01)
代理机构 代理人 陈长文;林嘉兴
主权项
地址 韩国