| 摘要 |
本发明提供一种藉由组态一静电夹盘之绝缘层之平台组态的区域密度来更改该静电夹盘之热传递系数轮廓的方法。本发明进一步提供一种藉由调节或初始制造一静电夹盘之绝缘层之平台组态的高度来更改该静电夹盘之电容轮廓的方法。可藉由使用热流通量探针来量测给定点处之热传递系数，而可藉由使用电容探针来量测给定点处之电容。该探针系置放于夹盘之绝缘表面上且在单一量测中可包括复数个平台。在夹盘上进行的复数个量测提供一热传递系数轮廓或一电容轮廓，自该热传递系数轮廓及该电容轮廓决定一目标平台区域密度及一目标平台高度。机械地达成该自标密度及高度；分别藉由机械地调节现存平台之区域密度达成该目标密度；且藉由产生计划或现存平台周围的低区域或使其加深来达成该目标高度。此可使用用于受控材料移除之任何已知技术来实现，诸如在X-Y台上的雷射加工或喷砂加工。 |
