沈积系统及方法

摘要

一种基板处理方法包含：将基板置于用以施行沈积处理之沈积室中；及使用该沈积处理来将一膜沈积于该基板上。接着自该沈积室将具有该膜于其上之该基板传送至处理室中，在该处理室中于该基板上施行一电浆清理处理。在电浆清理处理后，施行基板之更进一步处理。