光阻组合物,使用其图案化薄膜之方法,及使用其制造液晶显示面板之方法

摘要

本发明系关于一种能够形成高解析度图案而无需额外加热程序之光阻组合物，其包括10至70重量份的硷可溶酚聚合物，其包括至少一种式1单元；0.5至10重量份的光酸产生剂；5至50重量份的溶解抑制剂，其包括至少一种式2单元；及10至90重量份的溶剂，其中前述组份的数量系基于总共100重量份之硷可溶酚聚合物、光酸产生剂、溶解抑制剂及溶剂，且其中式1及式2具有以下结构：其中R为甲基，其中R1、R2及R3相同或不同且为氢或第三丁基乙烯醚保护基团。