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发明名称
薄膜电晶体基板及薄膜电晶体基板之制造方法
摘要
本发明系提案一种可减少制造步骤的步骤数,缩短制造处理时间,藉此可降低制造成本,且使制造良品率提升之方法。薄膜电晶体(TFT)基板系具备:基板;及形成于该基板上方的闸极电极及闸极配线;形成于闸极电极及闸极配线上方的闸极绝缘膜;至少在闸极电极上方的闸极绝缘膜上方所被形成的第一氧化物层;及形成于第一氧化物层上方的第二氧化物层,且,藉由第二氧化物层来至少形成画素电极。
申请公布号
TW200730985
申请公布日期
2007.08.16
申请号
TW095137185
申请日期
2006.10.05
申请人
出光兴产股份有限公司
发明人
井上一吉;矢野公规;田中信夫
分类号
G02F1/1368(2006.01);H01L29/786(2006.01)
主分类号
G02F1/1368(2006.01)
代理机构
代理人
林志刚
主权项
地址
日本
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