| 摘要 |
本发明系提供可轻易地进行一对洗净刷之间隔调整的基板处理装置。该处理装置包含有搬送滚子，系可以预定倾斜角度搬送供应至处理槽内之基板者；及刷洗部，系可对搬送之基板其中一板面和另一板面进行洗净处理者。而刷洗部包含有：一对安装轴，系轴线沿上下方向平行地设于前述处理槽内，且可旋转者；一对上部臂，系其中一端连接于一对安装轴上部者；一对下部臂，系其中一端连接于一对安装轴另一下部者；一对洗净刷，系设置成轴方向其中一端部系由上部臂另一端支撑并可旋转，而轴方向另一端部系由下部臂中间部支撑并可旋转者；及驱动机构，系连接于一对下部臂另一端部，且藉由使下部臂摇动，可透过安装轴使上部臂连动，以安装轴为支点调整一对洗净刷的间隔者。 |
