半导体装置和其制造方法

摘要

提供在相邻图素之间的绝缘膜被称为堤坝、隔板、屏障、堤防等，并被提供在薄膜电晶体的源极布线或汲极布线或电源线上方。确切地说，在提供于不同层中的这些布线的交叉部分处，形成了比其他部分更大的步阶。即使在以涂敷方法形成相邻图素之间的绝缘膜的情况下，也由于这种步阶而存在着局部形成薄的部分，从而降低承受压力的问题。在本发明中，虚拟材料被安置在大步阶部分附近，确切地说是各布线的交叉部分周围，以便减小其上形成的不平坦性。上部布线和下部布线以不对准的方式被安置，以便不对准端部。