可旋转孔隙光罩总成及沉积系统

摘要

一种孔隙光罩总成，其包括一可旋转框架及一具有孔隙之光罩。一夹持配置系用以拉张该光罩且使该光罩符合一由该框架所界定之形状。张力系沿着一大致平行于该框架之一轴线的方向及/或围绕由该框架所界定之该形状的周缘而施加至该光罩。自位于该可旋转框架中的一沉积源所喷射出的沉积材料会通过该等光罩孔隙而沉积在一薄片上。