摘要 |
本发明之目的在于提供一种无论具有配线图案之基板有无变形,仍可提高平面度及平行度之各精确度的探针卡。为了此目的,本发明之探针卡系具备:复数个探针,由导电性材料所构成,用以接触半导体晶圆而进行电信号之输入或输出;探针头,收容并保持上述复数个探针;基板,具有与产生检查用信号之电路构造相对应的配线图案;补强构件,装设在上述基板以补强上述基板;中介件(interposer),叠层在上述基板以中继上述基板之配线;空间转换件(space transformer),其叠层在上述中介件及上述探针头之间,用以转换由上述中介件所中继之配线的间隔以露出于与上述探针头相对之侧的表面;及复数个第1柱(post)构件,从上述基板之表面即叠层有上述中介件之部分的表面贯穿该基板而埋设,且具有比上述基板之板厚还大的高度。 |