半导体晶圆测试中所使用的待测装置阵列之布局

摘要

一种形成在使用于晶圆测试的半导体晶圆上之待测装置的布局，包含第一阵列的待测装置，以及形成而与第一阵列相邻的第一焊垫组。第一焊垫组包含一闸极加强垫、一源极垫、以及一汲极垫。第一阵列之待测装置中的每一个系连接至第一焊垫组的闸极垫。第一阵列之待测装置中的每一个系连接至第一焊垫组的源极垫。第一阵列之待测装置中的每一个系连接至第一焊垫组的汲极垫。