溅镀靶、溅镀靶材料,及溅镀靶及溅镀靶材料之制造方法

摘要

本发明的课题为提供可更加有效减少电弧放电(arcing)的发生而得之溅镀靶，适合于此之溅镀靶材料，及溅镀靶与溅镀靶材料之制造方法。本发明为在油分的存在下进行切削加工的溅镀靶材，而此溅镀靶材之特征为在溅镀前的该靶材表面上附着有厚度1.5nm以下的油膜；溅镀靶的特征系具备有上述溅镀靶材料与靶座(backing plate)溅镀靶材料之制造方法以及溅镀靶之制造方法，其特征为具有使靶材表面与蒸气接触，以洗净该靶材表面的洗净步骤。