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发明名称
适合酸产生剂之盐及含有该盐之化学增幅阻剂组成物
摘要
本发明提供一种下式(I)所示之盐:其中环X表示具有3至30个碳原子的单环或多环烃基,并且该单环或多环烃基中之一个或多个氢原子系视需要经具有1至10个碳原子的烷基、具有1至10个碳原子的烷氧基、具有1至4个碳原子的全氟烷基、具有1至10个碳原子的羟烷基或氰基所取代;Q1及Q2各自独立表示氟原子或具有1至6个碳原子的全氟烷基;以及A+表示有机相反离子(counterion)。本发明亦提供一种包含该式(I)所示的盐之化学增幅阻剂组成物。
申请公布号
TW200731013
申请公布日期
2007.08.16
申请号
TW095142524
申请日期
2006.11.17
申请人
住友化学股份有限公司
发明人
山口训史;原田由香子;吉田勋
分类号
G03F7/031(2006.01);C07C309/12(2006.01);C07C381/12(2006.01);G03F7/039(2006.01)
主分类号
G03F7/031(2006.01)
代理机构
代理人
洪武雄;陈昭诚
主权项
地址
日本
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