| 发明名称 |
适用于酸产生剂之树脂及含有该树脂之化学放大型正光阻组成物 |
| 摘要 |
本发明提供一种可藉由照射产生酸之树脂，以及该树脂为一种有机阳离子与阴离子聚合物之盐，其中该阴离子聚合物不具有碳-碳不饱和键。本发明进一步提供一种含有该树脂之化学放大型光阻组成物。 |
| 申请公布号 |
TW200731011 |
申请公布日期 |
2007.08.16 |
| 申请号 |
TW095148897 |
申请日期 |
2006.12.26 |
| 申请人 |
住友化学股份有限公司 |
发明人 |
安藤信雄;武元一树;吉田勋;原田由香子 |
| 分类号 |
G03F7/004(2006.01);G03F7/027(2006.01);G03F7/039(2006.01);H01L21/027(2006.01) |
主分类号 |
G03F7/004(2006.01) |
| 代理机构 |
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代理人 |
洪武雄;陈昭诚 |
| 主权项 |
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| 地址 |
日本 |
