半导体装置及其制造方法,暨半导体制造用遮罩及光近接处理方法

摘要

本发明有关于包含逻辑电路之半导体装置，其目的是缩短处理时间藉以降低制造成本。另外，为着达成上述目的，逻辑电路之形成区域(114)具备有：第1区域(114b，170)，以既定之精度接受光近接校正处理；和第2区域(114a,180)，以比既定之精度低之精度接受光近接校正处理。特别是第1区域(114b,170)具有作为电晶体而动作之闸布线(172)，第2区域(114a,180)具有不作为电晶体而动作之虚拟布置(182)。