| 摘要 |
基板保持装置(4T)，具备：基材(30)；支撑部(81)，其形成于基材(30)上，用以支撑基板(P)；周壁，其形成于基材(30)上，且包围支撑部(81)；第1区域(31)，其沿周壁(33)以环状设置于基材(30)上，与支撑部(81)所支撑之基板(P)之背面形成第1间隙(G1)，以将从支撑部(81)所支撑之基板(P)与周壁(33)之间渗入的液体(LQ)保持于该第1区域(31)与基板(P)之间；以及第2区域(32)，其于基材(30)上相对周壁(33)设于第1区域(31)内侧，与支撑部(81)所支撑之基板(P)之背面形成大于第1间隙(G1)的第2间隙(G2)。 |
