曝光装置

摘要

本发明系将在彩色滤光片基板6上所形成之基板侧对准标记、和在光罩7所形成之光罩侧对准标记，分别捕捉到同一视野内，以摄影手段3加以拍摄，并依据所拍摄之基板侧及光罩侧对准标记之各影像，相对移动载台1和光罩载台2，俾使彩色滤光片基板6与光罩7对位，以进行曝光；且系具有光学距离修正手段4，其作用为使摄影手段3之线型CCD 22与彩色滤光片基板6间之光学距离、及摄影手段3之线型CCD 22与光罩7间之光学距离，约略一致。藉此，将可缩短基板及光罩之对位处理时间。